Fabrication Process for Josephson Integrated Circuits. - J. H. Greiner; Charles J. Kircher; S. P. Klepner; S. K. Lahiri; A. J. Warnecke; S. Basavaiah; E. T. Yen; John M. Baker; P. R. Brosious; H.-C. W. Huang; M. Murakami; Irving Ames (IBM J. Res. Dev., 1980)