Failure analysis addressing method of optically undetected defectivity on 4H-SiC PowerMOSFET epitaxial layer. - Mario Santo Alessandrino; Beatrice Carbone; Francesco Cordiano; Bruna Mazza; Alfio Russo; W. Coco; Massimo Boscaglia; A. Di Salvo; A. Lombardo; D. Scarcella; Elisa Vitanza; Patrick Fiorenza (IRPS, 2022)