Characterization of crystalline MOCVD SrTiO3 films on SiO2/Si(100). - A. Sibai; S. Lhostis; Yoann Rozier; O. Salicio; S. Amtablian; C. Dubois; J. Legrand; J. P. Sénateur; M. Audier; L. Hubert-Pfalzgraff (Microelectron. Reliab., 2005)