Ultra-High Density Deep Trench Capacitor (DTC) for 3DIC Integration. - H. L. Cheng; J. Y. Lin; T. C. Hsu; Eva Su; S. M. Wu; Y. C. Chang; T. H. Chien; C. Y. Peng; J. H. Yang; Felix Tsui; Shih-Fen Huang (3DIC, 2024)